美國MKS真空計(jì)真空傳感器介紹-型號(hào):901P-11030
型號(hào):901P-11030概述
901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock 真空傳感器結(jié)合了 Piezo 和 MicroPirani? 傳感器技術(shù)，與傳統(tǒng)的熱導(dǎo)率計(jì)相比，具有顯著更高的精度、穩(wěn)定性、可重復(fù)性和更快的響應(yīng)時(shí)間。它具有 0.00001-1000 Torr 壓力測量范圍和大氣切換，以及尺寸 NW16 ISO-KF 法蘭。它使用 RS232 數(shù)字通信接口來設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測量。901P 專為真空負(fù)載鎖內(nèi)的壓力測量而設(shè)計(jì)。它具有從大氣壓到 10 -5的絕對(duì)壓力測量替代負(fù)載鎖上的多個(gè)壓力測量設(shè)備的能力托和大氣切換能力。與傳統(tǒng)負(fù)載鎖設(shè)計(jì)中使用的壓力表相比，901P 精確的大氣壓力測量可以通過更快的循環(huán)時(shí)間來提高負(fù)載鎖性能，并防止負(fù)載鎖被大氣污染。901P 結(jié)合了絕壓和差壓測量技術(shù)，以提供卓越的性能和功能。901P 提供獲得專利的、獨(dú)立于氣體的絕對(duì)壓力測量范圍為 50 -1000 Torr，其精度高于熱導(dǎo)傳感器。與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計(jì)不同，MicroPirani? 中的傳感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，可以在非常小的體積內(nèi)進(jìn)行測量。由于 MicroPirani? 技術(shù)，901P 可以讀取低至 10 -5的壓力Torr，比標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼傳感器低兩個(gè)十年。傳感器設(shè)計(jì)最大限度地減少了對(duì)流的影響，因此 901P 可以安裝在任何方向而不會(huì)影響精度。901P 還具有 1VDC/十倍頻的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設(shè)備以進(jìn)行壓力讀數(shù)或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數(shù)字用戶界面進(jìn)行選擇。輔助可選模擬輸出用于提供差壓測量。901P 具有多達(dá)三個(gè)可用于過程控制的機(jī)械繼電器，例如互鎖隔離閥和真空泵。每個(gè)設(shè)定點(diǎn)都可以分配給差分壓電測量或組合的絕對(duì) MicroPirani?/壓電測量。
技術(shù)規(guī)格
絕對(duì)測量范圍1.0 x 10 -5至 1500 托
差分測量范圍-760 至 +760 托
數(shù)字通信RS232
類型真空傳感器
傳感器MicroPirani?（MEMS 熱導(dǎo)率）和壓電微分（MEMS 隔膜）
展示不
密封材料氟橡膠
外殼標(biāo)準(zhǔn)
電連接器15 針，高密度，D-sub 公頭
界面RS232/模擬
繼電器3
配件類型NW16 ISO-KF
安裝方向任何
設(shè)定點(diǎn)范圍絕對(duì)：5.0 x 10 -4托至 1000 托。差分：-760 到 100 托
校準(zhǔn)氣體空氣、氬氣、氦氣、氮?dú)狻2、H2O 蒸氣、CO2、氙氣、氖氣
工作溫度0 - 40°C (32 - 104°F)
最高烘烤溫度85°C (185°F)
數(shù)字控制調(diào)零、量程調(diào)整、模擬輸出、壓力單位、波特率、地址、出廠默認(rèn)設(shè)置、設(shè)定點(diǎn)功能：值、滯后、方向、啟用、傳感器狀態(tài)、開關(guān)、LED 測試
數(shù)字狀態(tài)絕對(duì)壓力和差壓讀數(shù)、單位、設(shè)定點(diǎn)、工作時(shí)間、傳感器溫度、用戶標(biāo)簽、型號(hào)、設(shè)備類型、序列號(hào)、固件和硬件版本、部件號(hào)、制造商
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模擬輸出1-9 VDC（每十年 1 VDC）
模擬輸出分辨率16 位
可選模擬輸出 25 VDC = 0 Torr，1 VDC/十年（壓電差分）
繼電器觸點(diǎn)額定值1 A @ 30VAC/DC，電阻式
繼電器響應(yīng)最大 100 毫秒
電源要求9 - 30 VDC，最大 <1.2 瓦
微皮拉尼精度5 x 10 -4至 1 x 10 -3 Torr ±10% 讀數(shù)，1 x 10 -3至 100 Torr ±5% 讀數(shù)，100 Torr 至大氣 ±25% 讀數(shù)
MicroPirani 重復(fù)性1 x 10 -3至 100 Torr ±2% 讀數(shù)
壓電微分精度-10 至 10 Torr ±10% 讀數(shù)，-100 至 -10 Torr ±8% 讀數(shù)，-760 至 -100 Torr ±1% 讀數(shù)，10 至 100 Torr ±5% 讀數(shù)
壓電微分重復(fù)性-760 至 10 Torr ±1% 讀數(shù)
壓電微分零穩(wěn)定性滿量程的 ±0.1%（滿量程 = 760 托）
超壓限制1500 托（絕對(duì)值）
暴露材料硅、SiO2、Si3N4、金、低釋氣環(huán)氧樹脂、304 不銹鋼、氟橡膠
電子外殼和法蘭304不銹鋼
遵守行政長官
模擬輸出 2 分辨率12位
數(shù)字波特率4800 - 230400 波特
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