美國(guó)BROOKS流量計(jì)半導(dǎo)體產(chǎn)品
絕對(duì)的精度和控制。適用于世界上要求最高的行業(yè)。
精確和可重復(fù)的過(guò)程控制：它是制造電子和半導(dǎo)體產(chǎn)品的根本驅(qū)動(dòng)因素。隨著每一代工具、流程和節(jié)點(diǎn)的開(kāi)發(fā)和部署，對(duì)半導(dǎo)體流量和壓力儀表的不斷創(chuàng)新和改進(jìn)的極端、超高性能要求和需求已經(jīng) - 并將繼續(xù) - 不停歇。
Brooks Instrument 的半導(dǎo)體產(chǎn)品通過(guò)業(yè)界最先進(jìn)的流量、壓力、真空和蒸汽輸送解決方案滿(mǎn)足了這些要求。我們的半導(dǎo)體產(chǎn)品組合建立在我們數(shù)十年創(chuàng)造許多突破性測(cè)量和控制設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)之上，這些設(shè)備現(xiàn)在已成為行業(yè)各個(gè)層面工藝工具的標(biāo)準(zhǔn)組件。
當(dāng)您選擇 Brooks Instrument 的半導(dǎo)體產(chǎn)品時(shí)，您也選擇了只有我們才能為解決基本 FEOL 和 BEOL 工藝和良率挑戰(zhàn)提供的獨(dú)特見(jiàn)解和資源：
專(zhuān)業(yè)知識(shí)：領(lǐng)先的半導(dǎo)體工具制造商期待 Brooks 員工的成熟專(zhuān)業(yè)知識(shí)和洞察力，以改進(jìn)我們的流量和壓力測(cè)量和控制技術(shù)，以應(yīng)對(duì)獨(dú)特的工藝氣體、腔室匹配和吞吐量挑戰(zhàn)。
精度： Brooks 在我們提供的半導(dǎo)體產(chǎn)品中為客戶(hù)提供最合適的、特定于應(yīng)用的精度、耐用性以及最重要的可重復(fù)性，以幫助管理飛漲的工具成本。我們不斷投資以改進(jìn)我們的產(chǎn)品組合，因此每臺(tái)設(shè)備都有助于改進(jìn)過(guò)程控制，最終轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力和產(chǎn)量。
可靠性： Brooks 的半導(dǎo)體產(chǎn)品采用最優(yōu)質(zhì)的鋼材和合金、高性能數(shù)字電子設(shè)備和專(zhuān)利傳感器設(shè)計(jì)，可提供數(shù)十年的準(zhǔn)確、可重復(fù)的測(cè)量和控制，尤其是在與特殊工藝氣體相互作用時(shí)。
重點(diǎn)： Brooks 對(duì)流量和壓力測(cè)量和控制有著獨(dú)特的關(guān)注，具有不斷增長(zhǎng)的服務(wù)能力和全球足跡，能夠更快地響應(yīng)儀器問(wèn)題并為我們提供的半導(dǎo)體產(chǎn)品提供更好的生命周期支持。
支持：我們提供支持，在選擇半導(dǎo)體產(chǎn)品時(shí)提供應(yīng)用專(zhuān)業(yè)知識(shí)、定制計(jì)量配置、服務(wù)和幫助。
美國(guó)BROOKS流量計(jì)-液體和蒸汽產(chǎn)品