山西進(jìn)口美國mks流量計(jì)使用手冊

美國mks流量計(jì)技術(shù)規(guī)格類型：質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍：20-1000sccm滿量程流量范圍：1000sccm配件類型：4錄像機(jī)男性密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預(yù)熱時(shí)間：30分鐘

典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2% 可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3% 解決：滿量程的0.1% 零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5% 預(yù)熱：時(shí)間30分鐘 工作溫度：10 - 50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝 儲存溫度：-20至80攝氏度 外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性：高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光：16英寸平均半徑 重量：3磅(1.4千克)

工作溫度：10-50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝儲存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性：高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從英國國教會G系列GE50A013103SMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定值做出和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿量程流量范圍為100sccm，控制范圍為2至1000sccm，具有接地的15引腳D-submixture連接器，以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。美國mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述

類型：質(zhì)量流量控制器 校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品) 控制范圍：2 - 100 sccm 滿量程流量范圍：100 sccm 配件類型：0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格 密封材料：氟橡膠 流量輸入輸出信號：0 - 5伏直流電 模擬連接器：15針D-sub(接地) 大入口壓力：150磅/平方英寸 正常工作壓差：10至40磅/平方英寸 耐受壓力：1000磅/平方英寸 破裂壓力：1500磅/平方英寸

解決：滿量程的0.1%零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預(yù)熱：時(shí)間30分鐘工作溫度：10-50攝氏度儲存濕度：0至95%相對濕度，非冷凝儲存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性：高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從：英國國教會美國mks流量計(jì)G系列GE50A013103RMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定值做出和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿量程流量范圍為1000sccm，控制范圍為20至1000sccm，具有接地的15引腳D-submixture連接器，以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。

HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 / 臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對品牌的MFC都可的清洗校準(zhǔn)。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空
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光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。