西藏進(jìn)口美國(guó)mks流量計(jì)說明書

美國(guó)mks流量計(jì)技術(shù)規(guī)格類型：質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍：20-1000sccm滿量程流量范圍：1000sccm配件類型：4錄像機(jī)男性密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號(hào)：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預(yù)熱時(shí)間：30分鐘

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫(kù)存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。成熟的專利熱傳感器設(shè)計(jì)提供了的零點(diǎn)穩(wěn)定性。美國(guó)專利號(hào)5461913。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述GE50A彈性體密封的5-50，000sccm質(zhì)量流量控制器類型：質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍：2-100sccm滿量程流量范圍：100sccm配件類型：0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號(hào)：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%

類型：質(zhì)量流量控制器 校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品) 控制范圍：2 - 100 sccm 滿量程流量范圍：100 sccm 配件類型：0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格 密封材料：氟橡膠 流量輸入輸出信號(hào)：0 - 5伏直流電 模擬連接器：15針D-sub(接地) 大入口壓力：150磅/平方英寸 正常工作壓差：10至40磅/平方英寸 耐受壓力：1000磅/平方英寸 破裂壓力：1500磅/平方英寸

美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

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