海南進(jìn)口日本HORIBA流量計(jì)說明書
日本HORIBA流量計(jì)概要
質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程*2。
此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。
高性能的Z500系列流量計(jì)，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報(bào)告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。
日本HORIBA流量計(jì)規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大50slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大200slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質(zhì)量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質(zhì)量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標(biāo)稱流量.
日本HORIBA流量計(jì)特征
高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí)，PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。
日本HORIBA流量計(jì)概要
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測定時(shí)，對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在對流量進(jìn)行計(jì)測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
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