5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高潔凈環(huán)境下測(cè)量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品的金屬密封結(jié)構(gòu)和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過(guò)程效率，這得益于設(shè)備無(wú)需對(duì)氣體壓力進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)即可保證流量穩(wěn)定。
美國(guó)BROOKS流量計(jì)5850EM系列特點(diǎn)
長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%
能夠根據(jù)命令變化在 3 秒內(nèi)完成設(shè)置并且過(guò)沖/下沖可忽略不計(jì)
流量范圍寬 - 3 sccm 至高達(dá) 30,000 slpm
高壓額定值 - 高達(dá) 1,500 psi
可選增強(qiáng)型內(nèi)部后處理工藝 - 5µ 英寸 Ra（平均值）
可拆卸式流量傳感器
不受安裝角度影響
其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容
TTL 兼容型"閥關(guān)閉"和吹掃功能
美國(guó)BROOKS流量計(jì)5850EM系列優(yōu)勢(shì)
全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)
在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
由于性能可靠，因此投資回報(bào)率出眾
采用可拆卸式流量傳感器，因此無(wú)需對(duì)氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)
由于模擬量?jī)H為輸入/輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)
美國(guó)BROOKS流量計(jì)5850EM系列應(yīng)用
光端機(jī)
LED/MOCVD
半導(dǎo)體
太陽(yáng)能