美國mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNet I/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定值做出快速、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。

1、流速從5到50，000 sccm
2、氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項(xiàng)
3、廣泛選擇數(shù)字(EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA) I/O
4、標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的0.1%
5、小于750毫秒的建立時(shí)間

規(guī)范

特征

廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇

GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)提供快速和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179A MFCs的相同I/O類型。所有GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

標(biāo)準(zhǔn)3英寸尺寸

GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸，最常用于5 sccm至50 slm流速范圍內(nèi)的MFC，無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。

所有金屬浸濕表面

GE50A的設(shè)計(jì)采用了最少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，所有潤濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體

設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比

對于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度，使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制，相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量，精度為滿量程的0.2%。

嵌入式用戶界面

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。

專利熱傳感器

成熟的專利熱傳感器設(shè)計(jì)提供了卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性。美國專利號5461913。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。